行业动态
行业概括
半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。挥发性有机废气主要来源于光刻、显影、刻蚀及扩散等工序，在这些工序中要用有机溶液（如异丙醇对晶片表面进行清洗，其挥发产生的废气是有机废气的来源之一；同时，在光刻、刻蚀等过程中使用的光阻剂（光刻胶）中含有易挥发的有机溶剂，如醋酸丁酯等在晶片处理过程中也要挥发到大气中，是有机废气产生的又一来源。半导体制造工艺中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分。在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。
目前，有机废气排放处理措施采用大风量低浓度，其处理一般采用吸附浓缩与焚烧相结合的方法，处理效率在95%以上。
设计原则：
(1)协助企业采用科学合理的收集方式，在达到收集效果的前提下，尽量减少气量。
(3)妥善解决项目建设及运行过程中产生的污染物，避免二次污染。
(4)严格执行现行的防火、安全、卫生、环境保护等国家和地方颁布的规范、法规与标准。
(5)选择新型、高效、低噪设备、注意节能降耗。
半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。挥发性有机废气主要来源于光刻、显影、刻蚀及扩散等工序，在这些工序中要用有机溶液（如异丙醇对晶片表面进行清洗，其挥发产生的废气是有机废气的来源之一；同时，在光刻、刻蚀等过程中使用的光阻剂（光刻胶）中含有易挥发的有机溶剂，如醋酸丁酯等在晶片处理过程中也要挥发到大气中，是有机废气产生的又一来源。半导体制造工艺中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分。在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。
目前，有机废气排放处理措施采用大风量低浓度，其处理一般采用吸附浓缩与焚烧相结合的方法，处理效率在95%以上。
设计原则：
(1)协助企业采用科学合理的收集方式，在达到收集效果的前提下，尽量减少气量。
(2)积极稳妥地采用新技术、新设备，结合企业的现状和管理水平采用先进、可靠的污染治理工艺，力求运行稳定、费用低、管理方便、维护容易，从而达到彻底消除废气污染、保护环境的目的。
(3)妥善解决项目建设及运行过程中产生的污染物，避免二次污染。
(4)严格执行现行的防火、安全、卫生、环境保护等国家和地方颁布的规范、法规与标准。
(5)选择新型、高效、低噪设备、注意节能降耗。
(6)总平面布置力求紧凑、合理通畅、简洁实用。尽量减小工程占地和施工难度。
安徽杰通环境技术股份有限公司成立于2010年，是一家专注家电、化工、汽车等有机废气处理一站式解决方案服务商。公司主要业务有：有机废气处理、废气治理、voc废气处理等，服务有机废气客户12000+家，客户案例众多，包达标、包验收、包通过，有机废气找杰通，废气处理更轻松！